同飞股份三通道氟化液冷却机顺利通过测试并交付使用，赋能半导体刻蚀工序

近日，同飞股份SC3FI系列三通道氟化液冷却机顺利通过各项测试，正式完成交付并投入使用。这款针对性研发的温控设备，精准匹配半导体制造刻蚀（ETCH）工序的冷却需求，为半导体加工制造环节的稳定高效运行，注入强劲动力。

在半导体制造过程中，刻蚀工序作为关键环节，对温度控制精度与设备运行稳定性有着极高要求，冷却系统的性能直接影响芯片制造的良率与效率。同飞股份深耕半导体领域温控技术多年，此次推出的SC3FI系列三通道冷却机，凭借多项核心技术突破，精准契合行业痛点。

作为设备的核心优势，SC3FI系列创新采用“三路供液设计+三系统独立控温架构”，三个通道可实现精准独立调控，互不干扰，且涵盖-20℃低温与170℃高温双重配置，能深度适配刻蚀工序多环节的差异化温控需求，为先进制程提供全方位温控保障。

在产品设计上，该系列冷却机采用一体化集成方案，结构紧凑简洁，可有效节省Fab厂安装空间，完美适配半导体Fab厂有限的布局需求。同时，设备采用闭式系统搭配卡套接头设计，可显著抑制氟化液挥发，既降低耗材损耗成本，又减少挥发气体对Fab厂环境的影响，实现环保与经济的双重效益。

SC3FI系列依托先进的PID控制算法，实现±0.1℃的高精度控温，为刻蚀工序营造稳定的温度环境，保障工艺稳定性；搭载变频技术，进一步提升设备能效，在满足冷却需求的同时降低能耗，精准契合绿色制造的行业趋势。

此外，设备还配备高清液晶显示屏，支持实时数据可视化查看，同时具备上位机通讯功能，便于工作人员实时监控设备运行状态、追溯历史数据，大幅提升Fab厂管理效率。